根据《中国有色金属工业协会文件》（中色协科字[2020] 67号）中项目所有完成人所在单位进行公示的要求，现将我单位拟申报的科技进步奖项目予以公示，公示内容见以下。
公示期为2023 年 9月11日至 2023 年 9月 18日。公示期内，任何单位或个人如对公示内容有异议，请您向云南省贵金属新材料控股集团有限公司反映，并提供必要的证明材料。为便于核实查证，确保客观公正地处理异议，提出异议的单位或个人应当标明真实身份，并提供准确的联系方式。凡匿名异议和超出期限的异议，不予受理。
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项目名称 |
芯片用高纯金和高纯铂蒸发材料制备关键技术及应用 |
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主要完成单位 |
贵研铂业股份有限公司 |
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提名者 |
云南省贵金属新材料控股集团有限公司 |
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提名等级 |
一等 |
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项目主要完成人 |
董海刚，裴洪营，阳岸恒，赵家春，朱勇，吴跃东，等 |
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主要完成人基本情况 |
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序号 |
姓名 |
所在单位 |
职称 |
职务 |
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1 |
董海刚 |
贵研铂业股份有限公司 |
研究员 |
主任 |
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2 |
裴洪营 |
贵研铂业股份有限公司 |
高级工程师 |
部长 |
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3 |
阳岸恒 |
贵研铂业股份有限公司 |
高级工程师 |
副部长 |
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4 |
赵家春 |
贵研铂业股份有限公司 |
正高级工程师 |
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5 |
朱 勇 |
贵研铂业股份有限公司 |
高级工程师 |
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6 |
吴跃东 |
贵研铂业股份有限公司 |
高级工程师 |
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7 |
刘满门 |
贵研铂业股份有限公司 |
正高级工程师 |
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8 |
周文艳 |
贵研铂业股份有限公司 |
副研究员 |
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9 |
王亚雄 |
贵研铂业股份有限公司 |
正高级工程师 |
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10 |
李艳华 |
贵研铂业股份有限公司 |
助理工程师 |
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11 |
王 钊 |
贵研铂业股份有限公司 |
助理工程师 |
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12 |
康菲菲 |
贵研铂业股份有限公司 |
高级工程师 |
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13 |
崔 博 |
贵研铂业股份有限公司 |
助理工程师 |
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14 |
张纯熹 |
贵研铂业股份有限公司 |
工程师 |
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15 |
童伟锋 |
贵研铂业股份有限公司 |
高级工程师 |
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16 |
范云鹏 |
贵研铂业股份有限公司 |
技术员 |
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项目简介
高纯金、高纯铂蒸发材料是半导体、集成电路芯片制造工艺中薄膜制备的重要基础材料之一。随着大数据、云计算和5G等电子信息技术的不断进步和升级，电子材料开始向多功能化、复合化、低维化和智能化方向发展，半导体工艺技术水平日益提高，特征尺寸的缩小需要应用新的高性能高纯材料，对半导体、集成电路芯片制造用金和铂蒸发材料的质量提出更加苛刻的要求，其纯度和杂质含量直接影响着电子薄膜性能，如金蒸发材料要求纯度Au≥99.999%，且能有效控制特定杂质元素C，S，Fe等，同时对几何形状及尺寸也有特殊的要求。目前，高端芯片用高纯金、高纯铂蒸发材料制备技术被国外企业掌握，技术严格保密，如日本松田公司等。我国金、铂蒸发材料主要应用于LED照明、太阳能电池、微波半导体器件、电极等领域，尚不能用于高端半导体芯片制造领域，高端半导体芯片制造用高纯金、高纯铂蒸发材料依赖进口，严重制约着我国集成电路等电子信息产业的发展。针对上述问题，本项目通过系统研究，全面革新现有高纯金、高纯铂蒸发材料生产的技术及工艺流程：开发出选择性沉淀除杂-电位调控制备高纯金原料新工艺，获得了纯度Au＞99.999%的高纯海绵金，生产周期短，常温还原、能耗低。开发全湿法制备高纯铂原料新工艺，获得了纯度Pt＞99.999%的高纯海绵铂，该工艺杂质去除效果好，产品纯度高，流程简短，省去了氯铂酸铵煅烧工序，减少NOx、HCl等有害物质排放，清洁环保。国内首创芯片用高纯金蒸发材料规则颗粒短流程制备新工艺，获得的产品的纯度Au＞99.999%，C、S含量小于2ppm，产品粒径2?4mm，满足了半导体、集成电路等高端芯片制造产业的要求，实现进口替代；通过短流程制备工艺大幅度降低能耗降低、生产成本，生产周期仅为传统工艺的3%。开发芯片用高纯铂蒸发材料新方法，获得的高纯铂蒸发材料的纯度Pt＞99.999%，缺陷少，性能满足芯片制造行业要求，材料成品率由传统的70%-80%提高至90%-95%，单位蒸发材料产品生产成本降低46%。项目整体技术水平处于国际先进，部分技术指标达到国际领先。获授权专利发明5件，建成了芯片用高纯金、高纯铂蒸发材料吨级生产线。2020年-2022年间，累计生产高纯金蒸发材料1810公斤、高纯铂蒸发材料1087公斤，累计实现销售总收入8.84亿元，利税总额1.36亿元。该成果实现了芯片用高纯金、高纯铂蒸发材料国产化制备，解决了高纯金和高纯铂蒸发材料依赖进口问题，为国内芯片制造企业提供了高品质产品，推动了我国贵金属新材料产业发展。
主要知识产权、标准等目录
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序号 |
知识产权 （标准）类别 |
知识产权（标准） 具体名称 |
授权号 （标准编号） |
（标准发布） 日期 |
权利人 （标准起草单位） |
发明专利（标准）有效状态 |
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1 |
发明专利 |
一种高纯金的制备方法 |
ZL202210151956.6 |
2022.11.29 |
贵研铂业股份有限公司 |
有效 |
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2 |
发明专利 |
一种全湿法制备高纯铂粉的方法 |
ZL201910760778.5 |
2022.11.29 |
贵研铂业股份有限公司 |
有效 |
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3 |
发明专利 |
一种高纯铂粉的制备方法 |
ZL201711037866.X |
2020.02.18 |
贵研铂业股份有限公司 |
有效 |
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4 |
发明专利 |
一种集成电路用高纯金规则颗粒制备方法 |
ZL201810264365.3 |
2020.07.07 |
贵研铂业股份有限公司 |
有效 |
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5 |
发明专利 |
一种金锡合金蒸镀材料及其规则颗粒制备方法 |
ZL201810266443.3 |
2020.02.18 |
贵研铂业股份有限公司 |
有效 |
代表性论文（专著）目录
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序号 |
论文专著名称/刊名/作者 |
影响因子 |
年卷页码 （xx年xx卷xx页） |
第一作者 |
SCI 他引次数 |
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1 |
蒸发材料用高纯金的制备研究，贵金属，赵家春，阳岸恒，吴跃东，朱勇，童伟锋，裴洪营*，董海刚* |
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2021，42(02)：27-31 |
赵家春 |
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2 |
高纯金制备技术研究进展，贵金属，董海刚，赵家春，吴跃东，阳岸恒，裴洪营* |
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2022，43(02)：76-80 |
董海刚 |
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3 |
.高纯铂粉制备的研究，稀有金属与硬质合金，杨海琼，赵家春，陈家林，李博捷，王应武，董海刚* |
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2018，46(02)：64-67 |
杨海琼 |
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4 |
从废铂合金催化网中回收铂、钯、铑，贵金属，董海刚，赵家春，吴跃东，王亚雄，范云鹏 |
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2022，43(01):39-43 |
董海刚 |
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5 |
高纯铂制备技术研究进展，贵金属，赵家春，吴跃东，童伟锋，杨海琼，保思敏，裴洪营*，董海刚* |
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2020，41(01)：92-97 |
赵家春 |
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6 |
从钴铬铂靶材废料中回收纯铂，贵金属，赵家春，董海刚，吴跃东，王亚雄，杨海琼，保思敏，童伟锋 |
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2018，39(03)：42-46. |
赵家春 |
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7 |
从废NiPt靶材中回收铂、镍的研究，贵金属，吴跃东，赵家春，童伟锋，王亚雄 |
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2022，43(S1)：89-92. |
吴跃东 |
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